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産品描述
主要用于晶圓芯片制造中(zhōng)所有平坦化工(gōng)藝需求的設作員備，如IMD、STI、ILD、BPSG、contactor、metal li錯鐵ne等，同時支持TSV、MEMS等新領域的平坦化工鄉一(gōng)藝。
産品特點
- 整機結構緊湊，節約淨化廠房空間使用；
- 可實現晶圓的“幹進幹出”；
- 在線終點檢測方式，實時工(gōng)藝控制；
- 控制軟件完全自主可控。
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産品描述
主要用于晶圓芯片制造中(zhōng)所有平坦化工(gōng)藝草黑需求的設備，如IMD、STI、ILD、BPSG、cont車身actor、metal line等，同時支持TSV、MEMS等新領域的平坦化工短話(gōng)藝。
産品特點
- 整機結構緊湊，節約淨化廠房空間使用；
- 可實現晶圓的“幹進幹出”；
- 在線終點檢測方式，實時工(gōng)藝控制；
- 控制軟件完全自主可控。
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