資(zī)訊分(fēn)類
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2020-10-16
熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司被評為“2020多作德勤·亦莊明日之星”
2020年10月16日,“2020年全國大(dà)衆舊如創業萬衆創新活動周”開(kāi)幕式上,爍科精微成功被評為“20廠子20德勤•亦莊明日之星”,成為唯一(yī)一(yī)家成立僅1光低年的獲獎單位,此次獲獎标志(zhì)着爍科精微被北(běi)京經濟技術開(k友公āi)發區列為區域高速成長、持續創新的優秀企業及重點培養獨角獸企業和上市黃公企業的首選對象,今後開(kāi)發區将在政策扶持、品牌提升、資(zī)報拍金支持等方面給予優厚先支持。 查看詳細
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2020-08-13
爍科精微12英寸CMP設備2020年啟動驗證為我
攻克集成電(diàn)路制造領域關鍵設備核心技術 11月22日,記者在北(b來機ěi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司(以下(x不請ià)簡稱“爍科精微”)一(yī)樓淨化跳議廠房看到,工(gōng)作人員(yuán)正在對一(yī)台C票學MP(化學機械平坦化)設備進行整機組裝。爍科精微總經理李婷介紹說,公司研發的玩河CMP設備滿足IC制造中(zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng慢車)藝需求,涵蓋8英寸(200mm)和12英寸(300mm)産線,公司批量讀現生(shēng)産的HJP-200型CMP睡家設備已通過SEMIS2和SEMIF47認證,并通過中(zhō笑是ng)芯國際和華虹宏力的大(dà)産線産業化驗證,進入合明來格供應商(shāng)名單,形成批量采購,而12英寸(3現什00mm)CMP設備也将于2020年進入工(g開視ōng)藝驗證階段。 CMP設備,也叫化學機械抛光線服設備,是集成電(diàn)路制造領域的關鍵設備之一(yī的飛)。它的原理是利用抛光液化學刻蝕和抛光墊機械摩擦的綜合平衡作用,務文對晶圓表面材料進行精細去(qù)除。在集成電(diàn)路制造中讀化(zhōng),CMP首先被用于芯片制造前道工(gōng)藝的平坦化木低、器件隔離(lí)、器件構造,其次在芯片制造後道工(gōng)藝的金土去屬互連也需使用。同時,CMP在集成電(d村通iàn)路3D封裝TSV工(gōng)藝的關中(zhōng)也是關鍵的工(gōng)藝藍歌手段。正是因為具有相對多樣且關鍵的應用,CMP已經成為集成電厭西(diàn)路制造中(zhōng)的标準工(gōng)藝和核心裝備。 工靜 “我(wǒ)(wǒ)們的設備各項指标符合産線生(sh男睡ēng)産的要求,滿足0.09-0.35um商不工(gōng)藝節點集成電(diàn)路生(shēng)器遠産需要,打破了之前CMP設備隻能依靠進口的局面,為集成電到視(diàn)路産業CMP設備自主可控提供了保障。”李婷說,随着大紅坐(dà)規模集成電(diàn)路産品性能指标的提升,集成電(diàn火車)路生(shēng)産企業需要不斷研發更先進的工(gōng)藝,其中(zhōn音畫g)先進CMP工(gōng)藝是關鍵環節,睡樹爍科精微CMP設備配備了高精度研磨壓力控師聽制系統,增加了抛光墊在線複雜(zá)曲線影月修整模式,更新了化學液的控制方式,提升了飛長控制精度,對經常需要維護的部件進行了結構改水作進,縮短了單次維護時間,提升了産品性能。 據介紹,爍科精微已來地經建立國内首個集成8英寸和12英寸的CMP整體(tǐ)方案劇腦開(kāi)發平台,支持CMP相關工(gōng樂白)藝材料驗證、工(gōng)藝研發及設備優化,構建起“産朋低品+工(gōng)藝+材料+服務”的系統解決方案,建立CMP高端技術生風農(shēng)态鍊系統。8英寸(200mm)CMP對姐設備在推向市場的短短兩年中(zhōng),已經得到行業和市場的逐步認可,完成算學進口替代。 兩個月之前在經開(kāi)區注冊成立的爍科精微,是中(zhōng友資)電(diàn)科電(diàn)子裝備集團有限公司為實現科技成果轉生司化設立的混合所有制公司,也是電(diàn商雜)科裝備第一(yī)個由職業經理人擔任總經理的新設亮山公司,公司的機制體(tǐ)制、考核體(tǐ)系、管理模式等更加适應現代企業制度學員。在業務上,爍科精微堅持聚焦CMP這一(y拿拿ī)集成電(diàn)路高端裝備核心主業,推動集地黑成電(diàn)路關鍵裝備研發與産業化進程,計劃在20可村20年二季度完成12英寸(300mm)CMP設備的實驗室我司工(gōng)藝驗證及數據收集,随後将設備推向産線進行驗證,在産喝報品驗證通過之後,進行量産。 對于下(xià)一(yī)業子步發展,李婷說,爍科精微将依托亦莊在集成電(diàn)路制造産業領域的集麗男群效應,建立集CMP設備、耗材、附屬設備以及工(gōng)藝demo于一(個文yī)體(tǐ)的國産CMP成套工(gōng)謝小藝平台,提供一(yī)站式CMP技術解決方案,實現CMP成套技術的國産化。一地此外(wài),在集成電(diàn)路平坦化技術領域開(k歌就āi)拓探索,對前沿的Finfet技術,Ru/Co等特西樹殊材料的平坦化工(gōng)藝進行深入探索,不話請斷推動下(xià)一(yī)代平坦化技術發展。 htt就拿p://kfqgw.beijing.gov.玩音cn/zwgk/xwzx/yzxw/20什近1911/t20191126_548741.弟區html 查看詳細
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2020-08-13
熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司通過2校花020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企這黃業評審并獲得了由中(zhōng)關村(cūn)科技園區管理委女呢員(yuán)會頒發的“中(zhōng)吃年關村(cūn)高新技術企業”認定證書(shū)。
熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備們靜有限公司通過2020年中(zhōng)關村(cūn器樂)高新技術企業評審并獲得了由中(zhōng)關村(cūn吃暗)科技園區管理委員(yuán)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn)秒議高新技術企業”認定證書(shū)。 "中(z分林hōng)關村(cūn)高新技術企業"是指在中(zhōng)關村(cū微年n)科技園區國家重點支持的高新技術領域,持舊鐘續進行研究開(kāi)發與技術成果轉化,形成企業核心自主知(zhī)識鐘看産權,并以此為基礎開(kāi)展經營活動,将重大(dà)高新技術成果轉化成生近很(shēng)産力,屬于國内或國際先進的企業。 爍科精微科能夠在公司成新子立未滿一(yī)年内取得中(zhōng)關數匠村(cūn)高新技術企業資(zī)質,是北(běi)影音京市對爍科精微科在技術創新、知(zhī)識産權、産品發展以可吧及市場競争力等方面的高度認可和鼓勵。通過中(zhōng)關村(cūn)和見高新技術資(zī)質認證的企業,能享受國家對于中(zhōng)關票小村(cūn)園區内企業在科技、金融、人才、産到道業化、技術創新、重大(dà)科技成果轉化等方面的扶持政策,為企業持續發展提供更街線多有利條件,也是未來企業不斷提升品牌價值、增強綜合競争力的強大對兒(dà)動力。 “中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業”那南認定僅僅是個開(kāi)始,未來,爍科精視歌微将繼續加大(dà)研發投入、積極創新,努力提高産業技術水平和企業核心競争民海力。 查看詳細
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