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産品描述
水花 滿足IC制造中(zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(g醫錢ōng)藝需求。适用于主流的14nm/28nm 邏輯制程,覆蓋S但愛TI/ILD/IMD, FinFET/Metal gate/W/ Cu等工(學年gōng)藝。
産品特點
- 布局尺寸(長*寬*高)5.70m*2.80m*2.7懂姐0m
- 2×2抛光台與雙清洗工(gōng)位
- 雙獨立流程和傳輸系統
- 研磨頭和研磨台對立對應,保證更好的工(gō到要ng)藝一(yī)緻性( WIW & WTW <靜報3%)
- 産出速率相對國際進口設備提升顯著WPH &制但gt;60
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産品描述
滿足IC制造中(月討zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng)藝需求。适用于主流的14nm空都/28nm 邏輯制程,覆蓋STI/ILD/IMD, FinFET/Metal術要 gate/W/ Cu等工(gōng)藝。
産品特點
- 布局尺寸(長*寬*高)5.70m*2.80m*2.70m
- 2×2抛光台與雙清洗工(gōng)位
- 雙獨立流程和傳輸系統
- 研磨頭和研磨台對立對應,保證更好的工(gōng)藝一(yī)緻性(市業 WIW & WTW <3%)
- 産出速率相對國際進口設備提升顯著WPH >60
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