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産品描述
滿足IC制造中(zhō你爸ng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng)藝需求。适用于主流的14nm/28n商山m 邏輯制程，覆蓋STI/ILD/IMD, FinFET/Metal gate亮拍/W/ Cu等工(gōng)藝。
産品特點
- 布局尺寸(長*寬*高)5.70m*2.8司上0m*2.70m
- 2×2抛光台與雙清洗工(gōng)了文位
- 雙獨立流程和傳輸系統
- 研磨頭和研磨台對立對應,保證更好的工(gōng)藝一暗信(yī)緻性( WIW & WTW長風 <3%)
- 産出速率相對國際進口設備提升顯著WPH >60
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産品描述
滿足道又IC制造中(zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng)文道藝需求。适用于主流的14nm/28nm 邏輯制程，筆們覆蓋STI/ILD/IMD, FinFET/雪上Metal gate/W/ Cu等工(gōng)藝。
産品特點
- 布局尺寸(長*寬*高)5.70m*2.80m*2.70m
- 2×2抛光台與雙清洗工(gōng)位
- 雙獨立流程和傳輸系統
- 研磨頭和研磨台對立對應,保證更好的工(gōng)藝一(yī)緻性( WIW 老如& WTW <3%)
- 産出速率相對國際進口設備提升顯著WPH >60
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