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産品描述
- 兼容6/8英寸晶圓，全自動幹進幹出，工(gōng)藝切數鐵換靈活适用性廣
- 支持SiC、GaN第三代半導體(tǐ)及特種材料的南件平坦化工(gōng)藝需求
- 國内實現批量銷售
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産品描述
- 兼容6/8英寸晶圓，全自動幹進幹出，工(gōng)藝切看離換靈活适用性廣
- 支持SiC、GaN第三代半導體(tǐ)及特種材料的平坦化個熱工(gōng)藝需求
- 國内實現批量銷售
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