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産品描述
- 四研磨頭三研磨台和豎直清洗主架構
- 集成多種先進終點檢測技術及全自動工(gōng)藝控制系統
- 滿足12英寸集成電(diàn)路制造中(zhōn空見g)28nm及以上CMP工(gōng)藝需求
- 成熟架構，産線運行成本優勢明顯
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産品描述
- 四研磨頭三研磨台和豎直清洗主架構
- 集成多種先進終點檢測技術及全自動工(gōng)藝控制系統
- 滿足12英寸集成電(diàn)路制造中(zhōng)議火28nm及以上CMP工(gōng)藝需求
- 成熟架構，産線運行成本優勢明顯
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