熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司被評為“2020德勤·亦莊明日之星”

攻克集成電(diàn)路制造領域關鍵設備核心技術　　靜城11月22日，記者在北(běi)京爍科精微電(diàn)書大子裝備有限公司（以下(xià)簡稱“爍科路老精微”）一(yī)樓淨化廠房看到，工(gōng)作人員又件(yuán)正在對一(yī)台CMP（化吃少學機械平坦化）設備進行整機組裝。爍科精微總經理李婷介紹說，公司研發的CM近師P設備滿足IC制造中(zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng)藝朋什需求，涵蓋8英寸（200mm）和12英寸（3黃房00mm）産線，公司批量生(shēng)産的HJP-200型CMP設火公備已通過SEMIS2和SEMIF47認證，并什湖通過中(zhōng)芯國際和華虹宏力的大(dà)産海刀線産業化驗證，進入合格供應商(shāng)是火名單，形成批量采購，而12英寸（300mm）CMP設備和得也将于2020年進入工(gōng)藝驗證階段。　　CMP設備，也叫化學機械抛市身光設備，是集成電(diàn)路制造領域的關鍵設備得腦之一(yī)。它的原理是利用抛光液化學刻蝕和抛光民靜墊機械摩擦的綜合平衡作用，對晶圓表面材料進行精細去(拍山qù)除。在集成電(diàn)路制造中(zhōng)，CMP首先被用于芯片跳又制造前道工(gōng)藝的平坦化、器件隔離(lí)、器件構造些車，其次在芯片制造後道工(gōng)藝的金屬互機姐連也需使用。同時，CMP在集成電(diàn)到信路3D封裝TSV工(gōng)藝中(zhōng)也是關鍵的工(gōng)藝友是手段。正是因為具有相對多樣且關鍵的應用，CMP已經成為集成電(diàn船了)路制造中(zhōng)的标準工(gōng)藝和核心裝備。　　“我農大(wǒ)(wǒ)們的設備各項指标符合産線生(shēng)産答遠的要求，滿足0.09-0.35um工(gōng)藝節點集成電(diàn)路生(錯費shēng)産需要，打破了之前CMP設備隻能依靠進口明新的局面，為集成電(diàn)路産業CMP設備多從自主可控提供了保障。”李婷說，随着大(dà)規模集成身農電(diàn)路産品性能指标的提升，集成電(diàn)路生(shēng路訊)産企業需要不斷研發更先進的工(gōng)藝，其中(zhōng)先進C我知MP工(gōng)藝是關鍵環節，爍科精微CMP設工你備配備了高精度研磨壓力控制系統，增加了抛光墊在線事工複雜(zá)曲線修整模式，更新了化學液的控制你離方式，提升了控制精度，對經常需要維護的部件可爸進行了結構改進，縮短了單次維護時間，提升了産品性能。　　據森身介紹，爍科精微已經建立國内首個集成8英寸嗎外和12英寸的CMP整體(tǐ)方案開(kāi購謝)發平台，支持CMP相關工(gōng)藝材料驗證、工(gō暗照ng)藝研發及設備優化，構建起“産品+工(gōng綠很)藝+材料+服務”的系統解決方案，建立CMP高端技術生(shēng)态鍊系筆少統。8英寸（200mm）CMP設備在推向市場的短短兩年中城線(zhōng)，已經得到行業和市場的逐步認可，完成進口替代。　　兩個月之前問醫在經開(kāi)區注冊成立的爍科精微，是中(zhōng)電(di哥亮àn)科電(diàn)子裝備集團有限公司相制為實現科技成果轉化設立的混合所有制公司，也是電(diàn)科裝備雜現第一(yī)個由職業經理人擔任總經理的新設公司，公司的機制體(tǐ)制、考核短白體(tǐ)系、管理模式等更加适應現代企業制個作度。在業務上，爍科精微堅持聚焦CMP這一(yī)集成電(diàn)路高端裝看內備核心主業，推動集成電(diàn)路關鍵裝備研發與産業化進程，計劃在202光個0年二季度完成12英寸（300mm）CMP設備的實驗室工廠分(gōng)藝驗證及數據收集，随後将設備推我拿向産線進行驗證，在産品驗證通過之後，進行量産。劇家　　對于下(xià)一(yī)步發展，李婷說，爍科精微将依托亦莊在集成就要電(diàn)路制造産業領域的集群效應，建立集C上好MP設備、耗材、附屬設備以及工(gōng)藝demo于一(yī)體(雨麗tǐ)的國産CMP成套工(gōng)藝平台，電錯提供一(yī)站式CMP技術解決方案，實現CMP成套技術的國産化。此外(說畫wài)，在集成電(diàn)路平坦化技術領域開(kāi)拓探索，對費些前沿的Finfet技術，Ru/Co等特殊材料的平坦化工慢司(gōng)藝進行深入探索，不斷推動下(xià)一(yī)代平坦化技爸南術發展。　　http://kfqgw.beijing習對.gov.cn/zwgk/xwzx/yzxw/201911/t2019白草1126_548741.html

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有呢讀限公司被評為“2020德勤·亦莊明日之星”

熱烈慶祝北(běi)京煉科精微科技股份有限公司被評為煙上“2020德勤·亦莊明日之星”

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司被評為“2020德小老勤·亦莊明日之星”

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司被評為“20秒電20德勤·亦莊明日之星”

爍科精微12英寸CMP設備2020年啟動驗證

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司通厭相過2020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評審并獲得了由中(對山zhōng)關村(cūn)科技園區管理委員(yuá新妹n)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業”認定證書(shū)湖到。