熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司通過2020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評審并獲得了由中(zhōng)關村(cūn)科技園區管理委員(yuán)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業”認定證書(shū)。

攻克集成電(diàn)路制造領域關鍵設備舊呢核心技術　　11月22日，記者在北(běi行新)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司（以下(xià)簡稱“爍科精微”鐵美）一(yī)樓淨化廠房看到，工(gōng)作拍空人員(yuán)正在對一(yī)台CMP（化學機械平坦東照化）設備進行整機組裝。爍科精微總經理李婷介紹說，公司研發的C時間MP設備滿足IC制造中(zhōng)所有理校複雜(zá)平坦化工(gōng)藝需求，涵蓋相那8英寸（200mm）和12英寸（300mm）産線，身農公司批量生(shēng)産的HJP-200型CMP生對設備已通過SEMIS2和SEMIF47認證，并通少會過中(zhōng)芯國際和華虹宏力的大(dà)産線産業化驗證，進入明金合格供應商(shāng)名單，形成批量采購，而12英妹讀寸（300mm）CMP設備也将于2020年謝區進入工(gōng)藝驗證階段。　　CMP設備，也叫化學機械抛光設備，什村是集成電(diàn)路制造領域的關鍵設備之一(yī)。它的原理是利用抛光液化學著相刻蝕和抛光墊機械摩擦的綜合平衡作用，對晶物煙圓表面材料進行精細去(qù)除。在集成電(diàn)路制遠笑造中(zhōng)，CMP首先被用于芯片制造前道工(gō刀錢ng)藝的平坦化、器件隔離(lí)、器件構造，其次在芯片制造後道工(gōng)對高藝的金屬互連也需使用。同時，CMP在集成電(diàn)路3D封裝TS嗎村V工(gōng)藝中(zhōng)也是關鍵的工(gōng)藝手段。答長正是因為具有相對多樣且關鍵的應用，CMP已經成為集成電(diàn)路制造中(話事zhōng)的标準工(gōng)藝和核心裝備。　　“我(信對wǒ)(wǒ)們的設備各項指标符合産線生(shēng)産的要求，滿足0.筆上09-0.35um工(gōng)藝節點集成電(diàn)路生(shēn區兒g)産需要，打破了之前CMP設備隻能依靠進口的局面，為集成電(體水diàn)路産業CMP設備自主可控提供了保障。”李外業婷說，随着大(dà)規模集成電(diàn)路産品性能指标的提升，集費跳成電(diàn)路生(shēng)産企業需要不斷研發更先進的舞空工(gōng)藝，其中(zhōng)先進CMP工是火(gōng)藝是關鍵環節，爍科精微CMP市金設備配備了高精度研磨壓力控制系統，增加了抛光墊在線複雜(zá作你)曲線修整模式，更新了化學液的控制方式，提升了控制精度，對經常需要維護的部著是件進行了結構改進，縮短了單次維護時間，提升了産品性能。　　據介紹，爍科精微樂著已經建立國内首個集成8英寸和12英寸的CMP整體(t老銀ǐ)方案開(kāi)發平台，支持CMP相關工(gōng)藝材料驗證、工(靜內gōng)藝研發及設備優化，構建起“産品+工(gōng)藝+材料人嗎+服務”的系統解決方案，建立CMP高端技術生(shēng)你玩态鍊系統。8英寸（200mm）CMP設備在推向市場的短短兩年中(zhō自又ng)，已經得到行業和市場的逐步認可，完成進口替代。　　兩個月之前在經如年開(kāi)區注冊成立的爍科精微，是中(zhōng)電(diàn)科校多電(diàn)子裝備集團有限公司為實現科技成工空果轉化設立的混合所有制公司，也是電(diàn)科裝備第一(yī)個由微人職業經理人擔任總經理的新設公司，公司的機制體(tǐ)制湖我、考核體(tǐ)系、管理模式等更加适應現代企業制度。在業務上，爍科精微堅持聚焦如技CMP這一(yī)集成電(diàn)路高端市現裝備核心主業，推動集成電(diàn)路關鍵裝備黃藍研發與産業化進程，計劃在2020年二季度完成空吃12英寸（300mm）CMP設備的實驗室工(g冷到ōng)藝驗證及數據收集，随後将設備推向産線進行驗證，很愛在産品驗證通過之後，進行量産。　　對于下(xià)一(在姐yī)步發展，李婷說，爍科精微将依托亦莊在集成電(diàn)路制造産業領域有商的集群效應，建立集CMP設備、耗材、附屬設備以及信費工(gōng)藝demo于一(yī)體(tǐ)的國産CMP成長身套工(gōng)藝平台，提供一(yī)站式我火CMP技術解決方案，實現CMP成套技術的國産化。此男照外(wài)，在集成電(diàn)路平坦化技術領域開(kāi)機姐拓探索，對前沿的Finfet技術，Ru/Co等特殊材料的平坦化工(gōng空黃)藝進行深入探索，不斷推動下(xià)一(yī)代平坦化技術發展。　　ht空了tp://kfqgw.beijing.gov.cn/zwgk/xwzx/y暗小zxw/201911/t20191126_548741.html

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司通過2畫秒020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評跳科審并獲得了由中(zhōng)關村(cūn)科技園區管理委員(城了yuán)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業”認定老農證書(shū)。

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限遠上公司通過2020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評審外請并獲得了由中(zhōng)關村(cūn)科技園區管理委員你說(yuán)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn)高新技術樂鐘企業”認定證書(shū)。

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司被評為“2020對哥德勤·亦莊明日之星”

爍科精微12英寸CMP設備2020年啟動驗業國證

熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公愛近司通過2020年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評審員討并獲得了由中(zhōng)關村(cūn)科技園區管電謝理委員(yuán)會頒發的“中(zhōng)關村(cūn街舊)高新技術企業”認定證書(shū)。