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2020-08-13
爍科精微12英寸CMP設備2020年啟動驗證
攻克集成電(diàn)路制造領域關鍵設備遠白核心技術 11月22日,記者在北(běi)京爍科精微電(diàn理我)子裝備有限公司(以下(xià)簡稱“爍科精靜站微”)一(yī)樓淨化廠房看到,工(gōng)作人員(y近城uán)正在對一(yī)台CMP(化學機械平坦化)設備進行整機組裝。爍行窗科精微總經理李婷介紹說,公司研發的CMP設備滿足IC制造讀媽中(zhōng)所有複雜(zá)平坦化工(gōng)藝訊他需求,涵蓋8英寸(200mm)和12英寸做購(300mm)産線,公司批量生(shēng)産的HJP-2業綠00型CMP設備已通過SEMIS2和SEMIF47認證,并通過中(zhōn見煙g)芯國際和華虹宏力的大(dà)産線産業化驗證,進入合格供應商坐科(shāng)名單,形成批量采購,而12草鐘英寸(300mm)CMP設備也将于2020年進入工(gōng)藝驗證階段。 關好CMP設備,也叫化學機械抛光設備,是集成電(diàn)路制造領域西花的關鍵設備之一(yī)。它的原理是利用抛光液化學刻蝕和抛光墊購工機械摩擦的綜合平衡作用,對晶圓表面材料進行精細去(q花森ù)除。在集成電(diàn)路制造中(zhōng),CMP首先被用于芯片制還知造前道工(gōng)藝的平坦化、器件隔離(lí)、器件構造,其樹器次在芯片制造後道工(gōng)藝的金屬互連也需使用。同時,CMP在集成電(自月diàn)路3D封裝TSV工(gōng)藝中(z新錢hōng)也是關鍵的工(gōng)藝手段。正是因為具有相對多樣且關我北鍵的應用,CMP已經成為集成電(diàn)路制造中(zhōng)的标準工(g都舊ōng)藝和核心裝備。 “我(wǒ)(wǒ)們的設河現備各項指标符合産線生(shēng)産的要求,滿足0.09-0.35um工(拍站gōng)藝節點集成電(diàn)路生(shēng)産需要,打破了之前好吃CMP設備隻能依靠進口的局面,為集成電(diàn)路産業CMP呢物設備自主可控提供了保障。”李婷說,随着大(dà)規模集成電(diàn)路産品性厭區能指标的提升,集成電(diàn)路生(shē爸答ng)産企業需要不斷研發更先進的工(gōng坐見)藝,其中(zhōng)先進CMP工(gōng厭車)藝是關鍵環節,爍科精微CMP設備配備了高精度研磨壓力控制系統,增加了抛光墊喝樂在線複雜(zá)曲線修整模式,更新了化學液的控制方式窗白,提升了控制精度,對經常需要維護的部件進行了結構改進,縮短了單次維護快從時間,提升了産品性能。 據介紹,爍科精微已自白經建立國内首個集成8英寸和12英寸的CMP整體兵他(tǐ)方案開(kāi)發平台,支持CMP相關工(gōng)藝材料驗證、工(g還樂ōng)藝研發及設備優化,構建起“産品+工(gōng)藝+材外慢料+服務”的系統解決方案,建立CMP高端技術生(shēng)态鍊系統。8英現資寸(200mm)CMP設備在推向市場的短路文短兩年中(zhōng),已經得到行業和市場飛短的逐步認可,完成進口替代。 兩個月之前在經開(kāi)區注冊成立的爍科精微,一冷是中(zhōng)電(diàn)科電(diàn)子草畫裝備集團有限公司為實現科技成果轉化設立的混合所有制公司,也內放是電(diàn)科裝備第一(yī)個由職業經理人擔任總經理的新設公司,公司的機都低制體(tǐ)制、考核體(tǐ)系、管理模式等更加适應動一現代企業制度。在業務上,爍科精微堅持聚焦CMP這一(yī不資)集成電(diàn)路高端裝備核心主業,推動集成電(diàn)路議我關鍵裝備研發與産業化進程,計劃在2020年技的二季度完成12英寸(300mm)CMP設備的實驗室工(g月妹ōng)藝驗證及數據收集,随後将設備推向産線進行驗證,在産品驗算身證通過之後,進行量産。 對于下(xià)一(yī)步發展,李婷說,技哥爍科精微将依托亦莊在集成電(diàn)路制行低造産業領域的集群效應,建立集CMP設備、耗材、附屬設備以答作及工(gōng)藝demo于一(yī)體(tǐ)的國産CMP成那聽套工(gōng)藝平台,提供一(yī)站式CMP技術解決方案,實現CM路請P成套技術的國産化。此外(wài),在集成電(diàn)路平坦化技路時術領域開(kāi)拓探索,對前沿的Finfet技術,Ru/Co等特殊材料的麗了平坦化工(gōng)藝進行深入探索,不斷推動下(農機xià)一(yī)代平坦化技術發展。 http://kfqg得農w.beijing.gov.cn/zwgk/xwzx/yzxw/20店弟1911/t20191126_548741.h村訊tml 查看詳細
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2020-08-13
熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn習家)子裝備有限公司通過2020年中(zhōng)關村制著(cūn)高新技術企業評審并獲得了由中(做就zhōng)關村(cūn)科技園區管理委員(yuán)會頒發的“中(zhōng司醫)關村(cūn)高新技術企業”認定證書(shū)。
熱烈慶祝北(běi)京爍科精微電(diàn)子裝備有限公司通過202嗎訊0年中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業評審并獲得了由中(z好哥hōng)關村(cūn)科技園區管理委員(yuán)會頒發下又的“中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業”認定證書(鐵去shū)。 "中(zhōng)關村(cūn)高新技術企業"是指在紙一中(zhōng)關村(cūn)科技園區國家重點支持的高新裡銀技術領域,持續進行研究開(kāi)發與技術成果轉化,說微形成企業核心自主知(zhī)識産權,并以此為基礎開(kāi)展睡機經營活動,将重大(dà)高新技術成果轉化成生(shēng)産力,美慢屬于國内或國際先進的企業。 爍科精微科能夠在女著公司成立未滿一(yī)年内取得中(zhōng)關村(cūn)高新裡睡技術企業資(zī)質,是北(běi)京市對爍科精影數微科在技術創新、知(zhī)識産權、産品我熱發展以及市場競争力等方面的高度認可和鼓勵。通過中(zhōng)關和車村(cūn)高新技術資(zī)質認證的企業,能享受國家對于中(zhōng)關村黑商(cūn)園區内企業在科技、金融、人才、産業化、技術創新、重大(dà)科術坐技成果轉化等方面的扶持政策,為企業持續發展提供更多有利條件,也是未來企業不了照斷提升品牌價值、增強綜合競争力的強大(dà)動力。 “中(zhōng)爸費關村(cūn)高新技術企業”認定僅僅是個開(k行線āi)始,未來,爍科精微将繼續加大(dà)研發投入、積極創著現新,努力提高産業技術水平和企業核心競争力。 查看詳細
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